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在无尘室中出现错误，后果是极为严重的，因此就要求较高的照明等级。如果对光谱没有特殊要求的话，应当使用高显色性的中性白光。对于局部照明也应该有相同的要求，并要更好的避免眩光。

给定灰尘等级的照明系统主要取决于空气处理的要求。用于严格要求的无尘室的灯具优点：细线电缆

严格要求下的无尘室为了维持所需环境必须严格控制气流。因此任何气流的改变都是应该避免的。大面积的隐藏灯具或者表面布灯都应该予以避免。灯具必需尽可能的细，宽度小于悬顶支架之间的距离。